Аннотация: В статье рассматривается методика оценки распределения толщины вакуумных покрытий при напылении их из
различных устройств. Проведена оценка распределения толщин вакуумных покрытий, осаждаемых из испарителей с
различной индикатрисой на плоские подложки в вакуумных рабочих камерах. Представлено применение разработанной
компьютерной программы для практической оценки толщин покрытий, позволяющей выбирать рациональные сочетания
геометрических факторов при осаждении покрытий. Полученные результаты вакуумного осаждения металлических
функциональных покрытий согласуются с расчетными данными и позволяют предварительно оценить степень
равномерности по толщине формируемых покрытий с использованием моделирования в программе MathCAD.
Россия, 659305, Алтайский край, г. Бийск, ул. Трофимова, 27, к. 404Б Тел. +7-923-162-93-27 (ответственный секретарь - Голых Роман Николаевич) e-mail: info@s-sibsb.ru