| DOI: | 10.25699/SSSB.2020.32.4.001 |  |
Download PDF |
МОДЕЛИРОВАНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ В ПРОГРАММНОМ ПАКЕТЕ MATHCAD
- М.М. Хасанов, А.М. Назаров
Выпуски
- Аннотация: В статье рассматривается методика оценки распределения толщины вакуумных покрытий при напылении их из различных устройств. Проведена оценка распределения толщин вакуумных покрытий, осаждаемых из испарителей с различной индикатрисой на плоские подложки в вакуумных рабочих камерах. Представлено применение разработанной компьютерной программы для практической оценки толщин покрытий, позволяющей выбирать рациональные сочетания геометрических факторов при осаждении покрытий. Полученные результаты вакуумного осаждения металлических функциональных покрытий согласуются с расчетными данными и позволяют предварительно оценить степень равномерности по толщине формируемых покрытий с использованием моделирования в программе MathCAD.
- Ключевые слова: вакуумное осаждение, конденсат, индикатриса, компьютерные программы, моделирование
Контакты
Россия, 659305, Алтайский край, г. Бийск,
ул. Трофимова, 27, к. 404Б
Тел. +7-923-162-93-27
(ответственный секретарь -
Голых Роман Николаевич)
e-mail: info@s-sibsb.ru
Свидетельство
